LiF跟前边三种不同——它是软的低折射率光学材料，亦然怕潮的。 你们客户要是买LiF，好像是作念真空紫外（VUV）光学窗口、增透膜或者X射线探伤器窗口。这个材料蒸镀难度不，但有几个"软陷坑"。 、LiF EBE 的中枢难点 1. 度潮解——预和储存是存一火线 LiF暴露在空气中几分钟就开动吸附水汽，名义变"毛"。装入坩埚后要是不预宝鸡塑料管材设备价格，真空室里水汽浓度会爆炸式升，致：

膜层含羟基，VUV区透过率暴跌（LiF在121.6nm Lyman-α线的透过率对杂质度明锐）膜层发白、散射加多膜层黏遵守从"般"酿成"差"

2. 熔点低，蒸气压——容易"蒸及其"

熔点 848°C（比MgF₂的1261°C低得多）蒸气压在电子束常用温度鸿沟内还是很功率，速度飙升，膜层变疏松、柱状晶粗大、机械强度差

3. 膜层软，黏遵守差 LiF膜层本人很软，容易被擦伤。基板温渡过（>250°C）膜层会再结晶变约略；温渡过低（<80°C）又太疏松。窗口很窄。 二、工艺参数放肆

电话：0316--3233399

参数荐值/战术原因电子束功率低功率，束流 100-250 mALiF熔点低、蒸气压，功率太速度失控坩埚遴荐钼坩埚或铜坩埚LiF不与Cu响应，铜热好；钼耐温自在料面处分1-3mm晶体颗粒，装填量不外坩埚2/3给热推广留空间，减少堆叠炸裂预（Pre-melt）至极关节：低功率（60-100 mA）预热 5-8分钟LiF潮解比MgO还狠，须除气蒸镀速度0.5-2 Å/s比MgF₂不错稍快点，但别过2 Å/s，不然膜层疏松基板温度100-200°CLiF佳窗口比MgF₂低！太膜层约略、黏遵守变差氧分压欠亨任何气体，保捏真空LiF是氟化物，通O₂或H₂O王人致命本底真空< 3×10⁻⁶ Torr越低越好，LiF对残余水汽度明锐扫描形式小面积椭圆扫描宝鸡塑料管材设备价格，频率80-120 HzLiF不需要大面积轰击，塑料管材设备束斑联络反而利于自在速度储运冷落真空封装或充Ar手套箱飘荡，开封后2小时内装入竖立销售员这边不错教导客户1/212

三、薄膜均匀的关节放肆 LiF的挥发散布亦然余弦型，但因为不错蒸得较快，均匀问题相对克己分。 1. 源-基板距离

250-350 mm，步调距离即可要是作念VUV光学膜系，距离自在比对值病笃——膜厚精度径直影响VUV透过率

2. 行星夹具

对精密光学膜依然是选，均匀 ±2LiF单层膜频繁不厚（几十到几百nm），均匀条目比厚膜严

3. 光学监控 LiF是适用光学监控的材料之：宝鸡塑料管材设备价格

在可见区监控（用He-Ne激光或宽带光源），LiF低折射率层在λ/4厚度处给出澄莹的透射大值要是在VUV区作念膜，需要原位VUV分光光度计监控（VUV-OM系统），但这竖立很贵，般参谋所才有

4. 修正挡板

平面夹具时中心-边际差约 30-40定制弧形挡板后不错作念到 ±5

四、成膜质料检测

检测项打算注目点VUV分光光度计121.6nm（Lyman-α）透过率LiF的中枢点便是VUV透过率，须在真空或N₂吹扫下测可见区椭偏仪n值和膜厚n≈1.39@550nm，要是偏讲明有杂质或潮解居品AFM名义约略度LiF膜应至极光滑，RMS < 1 nm；约略度径直影响散射损耗黏遵守测试胶带法LiF膜黏遵守偏弱，基板温度150°C傍边佳潮解自在测试暴露湿环境后测光学能好的LiF膜名义雅致，短期暴露后能不应赫然退化XRD晶相LiF为NaCl结构，蒸镀膜频繁是定形或微晶

五、四种材料的好意思满对比（你不错作念成技巧手册）

--**MoO₃****MgO****MgF₂****LiF（这款）**蒸镀难度中低低荐功率低-中中-低低蒸镀速度0.1-0.5 Å/s0.1-0.3 Å/s0.5-1.5 Å/s0.5-2 Å/s基板温度室温-150°C200-400°C250-300°C100-200°C预要般须冷落须，且久烦恼放肆通少许O₂欠亨气欠亨气欠亨气潮解明锐低中低均匀难点般较联络很联络般主要用途气敏、催化、电致变缘层、缓冲层可见-红外增透膜VUV光学窗口、X射线探伤中枢检测XPS红外（-OH）分光光度计VUV透过率 相关词条:管道保温     塑料管材生产线     锚索    玻璃棉毡    PVC管道管件粘结胶

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